科技日報訊 (記者陳瑜)高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測溫工具是當前對大規模人員進行發熱篩查的主要工具之一，其核心部件MEMS(微機電系統)紅外溫度傳感器長期主要依賴進口。近日，中國兵器工業集團電子院華東光電集成器件研究所通過技術攻關，已完成傳感器芯片各類單項試驗，性能指標精度達到0.1℃，抗干擾能力優于目前市場主流產品(性能指標精度為0.3℃)。

因疫情防控、復工復產需要，高性能耳溫槍和額溫槍等非接觸式人體測溫工具MEMS紅外傳感器有了上百萬顆的訂貨需求。華東光電集成器件研究所自1月底緊急調整產品研制計劃，提前復工復產，組建黨員突擊隊和技術攻關小組，24小時不間斷輪班開展研制工作，目前已完成傳感器芯片各類單項試驗，預計在3月底完成芯片樣品研制。同時該所還采購全自動化組封裝關鍵設備、補充芯片制造的關鍵設備，推動傳感器芯片制造、組封裝的國產化，月產能從目前的2萬顆提升到100萬顆以上，4月初可大量投放市場。

作為國家發改委MEMS國家地方聯合工程實驗室和兵器工業集團微系統制造技術創新中心，華東光電集成器件研究所具有MEMS傳感器芯片設計、制造、封裝、測試等完整的科研能力，通過技術創新取得MEMS傳感器多項技術成果，下一步將開發相關測溫產品，滿足疫情防控、復工復產等高精度人體測溫需要。

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