三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機廠商ASML爭取訂單，另外一方面也在增資為EUV產業鏈輸血。
據報道，三星電子周二斥資430億韓元(約合2.5億)買入152萬股韓國FST公司的股票，成為其第三大股東，持股占比6.9%。
FST是一家生產掩模/光罩保護膜和冷卻器的廠商，保護膜簡單來說就是保障光罩不受灰塵影響，冷卻器則是控制半導體制造過程中的溫度。
FST正在研制EUV光罩保護膜，設計目標是全尺寸，碳化硅基質，30nm尺度，透光率90%。
目前，尚未有一家公司大規模量產EUV光罩保護膜FST成功后，將對產業以及自身收入有著積極影響。
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